기술
진공, 제어된 분위기 및 고온의 실험 환경을 제공합니다.
이 CVD 성장 시스템은 실리콘 카바이드 코팅, 세라믹 기판 전도성 테스트, ZnO 나노구조의 제어 성장 및 MLCC 분위기 소결 실험과 같은 CVD 공정에 적합합니다.
1400℃ 진공 분위기 관상로 CVD 시스템
풍모
1. 퍼니스는 다결정질 멀라이트 섬유 진공 흡착으로 만들어졌으며 온도 필드가 균일하고 에너지 절약이 50% 이상입니다.
2. 공기 전환 및 단열 기술은 상자의 각 구성 요소의 수명과 항온 효과를 보장합니다.
3. 전기로를 시작하면 동시에 배기 팬이 자동으로 작동합니다. 테스트 후 배기 팬은 로 본체의 온도가 60 °C보다 낮아질 때까지 계속 작동하고 배기 팬이 자동으로 정지하여 로 본체의 표면을 효과적으로 보호합니다.
4. 자동 전원 차단, 과열 보호 기능, 사용의 안전을 보장하는 누출 보호 기능
5. 회로는 연속 가열 출력 모드, 이중 회로 전원 공급 장치를 채택하고 강하고 약한 전류의 별도 배선으로 시스템의 안정성을 향상시킵니다.
6. 가열 모듈은 제어 신호에 대한 유도 전기의 간섭을 피하는 출력 전력을 조정하기 위해 DC 신호를 채택합니다.
7. 실리콘 카바이드 막대의 저항 값 변화에 대한 온도 또는 노후화로 인한 온도 제어 효과에 대한 자동 보상으로 부정확성과 인위적 조정의 위험을 방지합니다.
8. 디지털 흐름 표시 장치를 채택하고 질량 흐름 컨트롤러와 협력하여 데이터를 수집하고 흐름을 제어합니다. 그것은 좋은 반복성, 빠른 응답 속도, 안정성 및 신뢰성의 특성을 가지고 있습니다. (가스 질량 흐름 제어 시스템)
9. 자동 제어 및 수동 제어 전환 기능, 자동 제어 모드는 특정 진공 압력 범위 내에서 용기를 유지하기 위해 설정 값을 통해 진공 펌프를 자동으로 켜고 끌 수 있습니다. 수동 제어 모드에서는 사용자가 진공 펌프 켜기/끄기 버튼을 통해 진공 펌프를 직접 작동합니다. 다양한 실험의 요구를 충족합니다. (중진공 제어 시스템)
10 솔레노이드 밸브 슬로우 스타트 기술로 진공 펌프를 켠 후 10초 후에 솔레노이드 밸브가 열려 퍼니스 튜브의 시스템 압력이 정확하게 유지되고 배기 가스가 실험 효과에 영향을 미치는 용광로 튜브 시스템(중진공 제어 시스템)
명세서
모델 | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
작동 온도 범위 | 300~1400℃ | |||
온도 해상도 | 1℃ | |||
온도 제어 | ± 1℃ | |||
가열 속도 | 0~20℃/분 | |||
가열 영역 길이 | 200mm | 400mm | ||
일정한 온도 영역의 길이 | 70mm | 140mm | ||
진공도 | -0.1MPa | |||
빈로 가열 시간 | ≤15분 | |||
퍼니스 튜브 구성시 가열 속도 | 500℃ 이하 ≤5℃/min, 500-1000≤10℃/min, 1000-1200≤5℃/min, 1000-1400≤2℃/min | |||
외부 | 표면에 내약품성 코팅을 한 냉연 강판 | |||
용광로 본체 | 다결정 멀라이트 섬유 | |||
용광로 크기 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | ||
전기로 관 | 커런덤 튜브 | |||
용광로 튜브 크기 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 |
히터 | 실리콘 카바이드 막대 | |||
화력 | 3KW | 5KW | ||
단열층 | 이중층 강제 공기 전환 | |||
열린 길 | 아니 | |||
제어 장치 | P: 가져온 프로그램 온도 제어 디지털 디스플레이; T: 7인치 컬러 터치스크린 프로그램 온도 조절 | |||
제어 방법 | 마이크로컴퓨터 PID 제어 사용 | |||
설정 방법 | P: 동작, 디지털 디스플레이 설정을 위해 5개의 버튼을 터치합니다. T: 손가락 터치 및 탭하여 설정 | |||
표시 방법 | P: 이중 라인 LED 디지털 디스플레이; T: 컬러 LCD 디스플레이 | |||
타이밍 | 0~999.9시간 | |||
실행 기능 | 고정값 연산, 프로그램 연산 | |||
프로그램 모드 | P: 프로그램 실행, 4개의 곡선, 총 40단계; T: 50단계는 저장된 프로그램을 호출할 수 있습니다. | |||
감지기 | 유형 S 열전대 | |||
보조 기능 | P: 보정 기능; T: 보정 기능, 실시간 곡선 기록, U 디스크 데이터 내보내기 | |||
안전 장비 | 과전류 누설 보호 스위치 | |||
공기 경로의 수 | 3개 채널(특정 필요에 따라 공기 채널 수를 선택할 수 있음) | |||
흐름 범위 | 0-0500sccm(표준 ml/min, 옵션) 질소 표준 | |||
정도 | ±1%F.S | |||
응답 시간 | ≤4초 | |||
작동 온도(유량계) | 5-45℃ | |||
작업 압력 | 인레트 압력 0.05-0.3MPa (게이지 압력) | |||
시스템 연결 | KF 빠른 연결 벨로우즈, 고진공 수동 플래퍼 밸브 및 디지털 디스플레이 진공 측정기 채택 | |||
시스템 진공 범위 | 10-100Pa | |||
진공 펌프 | 2단 기계식 펌프의 이론적 극한 진공도는 3x10-1Pa, 펌핑 속도는 4L/s, 공기 배출구에는 오일 필터가 장착되어 있고 정격 전압은 200V이며 전력은 0.55Kw입니다. | |||
CVD 시스템 구성 | 1400도 진공관로 다중 채널 질량 흐름 제어 시스템 진공 시스템 | |||
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